内真空抽气系统为等子体放电提供必要的清洁的真空条件。抽气系统是在等离子体放电前提供尽可能好的本底真空，以满足等离子体对纯净环境的要求，放电时抽气系统具有很强的杂质抑制能力，从而提高放电参数，在**壁处理过程中(泰勒放电，辉光放电，感应烘烤和离子回旋放电清洗)气压较高时也具有大抽速以便抽除水蒸汽和杂质气体。
总压测量复盖从大气，粗真空、低真空、中真空、高真空到超高真空的广泛量程，（QMS）分压强应能随时测量，特别是等离子体放电过程中的分压强实时测量。
测量输出应能计算机数据采集处理。主真空室和它的附属件(限制器，**壁复盖物，波天线)应能长时间原位烘烤到200℃，烘烤只能去除象H2O，N2，CO2 这些物理吸附杂质，还需进一步用辉光放电等锻炼清洗以便去除化学吸附的轻杂质，象C，O 等。环形内真空室是金属焊接结构，材料应有好的焊接特性，高强度、耐热冲击。
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