标准简介
本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。英文名称：Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
页数：12页
前言
电子技术专用材料相关标准
