GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术　术语

检测标准有哪些内容？ GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术　术语 【英文标准名称】: Micro-electromechanical system technology—Terms
【中文标准名称】: 微机电系统(MEMS)技术　术语
【标准号】: GB/T 26111-2010
【标准状态】: 现行
【发布日期】: 2011-01-10
【实施日期】: 2011-10-01
【发布部门】: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局;中国国家标准化管理委员会
【起草单位】: 中机生产力促进中心;中国电子科技集团第13研究所;清华大学;上海交通大学;中北大学
【起草人】: 丁红宇;刘伟;张苹;崔波;杨拥军;叶雄英;陈迪;石云波
【标准技术委员会】: 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
【中国标准分类号】: L55
【国际标准分类号】: 31_200