uKSA系列超高精密电动平移台，按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品，是卓立汉光开发的新型电移台，该系列电移台技术指标达到水平。如：闭环分辨率0.1μm，每100mm行程，直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的MC6003P或TMC-USB系列控制器，定位于超高精度要求的领域应用，如：超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。
uKSA系列超高精密电动平移台特点：
1.加厚铝合金底座，基准面精密磨削，保证整体性能稳定
2.内置进口超高精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm
3.采用进口超高等级滚珠丝杠，可实现超高定位精度
4.采用进口超高等级交叉滚柱导轨，具有超高运动性能
5.标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音
选型表
| 型号 | uKSA50 | uKSA100 | uKSA150 | uKSA200 | |||||
| 行程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 | |||||
| 滚珠丝杠导程(mm) | 4 | ||||||||
| 电机型号 | FHB366-D(三相) | ||||||||
| 闭环分辨率(μm) | 0.1 | ||||||||
| zui大速度(mm/s) | 40 | ||||||||
| 重复定位精度(μm) | ＜2 | ||||||||
| 回程间隙(μm) | ＜1 | ||||||||
| 运动直线度(μm) | ＜6 | ＜10 | |||||||
| 运动平直度(μm) | ＜6 | ＜10 | |||||||
| 自重(Kg) | 8.5 | 10.5 | 13.5 | 15 | |||||
| 中心负载(Kg) | 30 | ||||||||
