GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅 现行

标准号：GB/T 38867-2020
中文标准名称：电子工业用四氯化硅
英文标准名称：Silicon tetrachloride for electronic industry
标准状态：现行,发布于2020-07-21; 实施于2021-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2020-07-21
实施日期：2021-02-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：湖北晶星科技股份有限公司;洛阳中硅高科技有限公司;湖北光谷标准创新科技有限公司;浙江西亚特电子材料有限公司;大连大特气体有限公司;联雄投资（上海）有限公司;达州市质量技术监督检验测试中心;湖北省标准化与质量研究院;唐山三孚电子材料有限公司;广东华特气体股份有限公司;上海华爱色谱分析技术有限公司;上海市计量测试技术研究院;随州市信息与标准化所;西南化工研究设计院有限公司
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