GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 现行

标准号：GB/T 38447-2020
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
标准状态：现行,发布于2020-03-06; 实施于2020-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-07-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京大学;北京智芯传感科技有限公司;浙江博亚精密机械有限公司;北京必创科技股份有限公司;中机生产力促进中心;沈阳国仪检测技术有限公司;中北大学
相近标准：20171123-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法; GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语; 20200872-T-469 微机电系统（MEMS）技术 术语; 微机电系统（MEMS）技术 术语; 20075896-T-469 微机电系统（MEMS）技术 术语; GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法; 微机电系统（MEMS）技术 薄膜张力特性条带弯曲试验方法; 20171124-T-469 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法; GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法; 20171125-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法