GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 现行

标准号：GB/T 37959-2019
中文标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
英文标准名称：Information model for containing process chamber IC equipment design
标准状态：现行,发布于2019-08-30; 实施于2020-03-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
中国标准分类号：35.240.50
国际标准分类号：35.240.50
归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
起草单位：中车信息技术有限公司;北京机械工业自动化研究所有限公司;清华大学;中国石油规划总院
相近标准：20162348-T-604 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型; 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型; SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语; 20182265-T-339 集成电路IP核设计要求; 集成电路IP核设计要求; 20184665-T-604 制造装备集成信息模型通用建模规则; GB/T 12842-1991 膜集成电路和混合膜集成电路术语; SJ/Z 11358-2006 集成电路IP核模型分类法; GB/T 8976-1996 膜集成电路和混合膜集成电路总规范; GB/T 9178-1988 集成电路术语