GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法 现行

标准号：GB/T 19921-2018
中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文标准名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
标准状态：现行,发布于2018-12-28; 实施于2019-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-07-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司;浙江金瑞泓科技股份有限公司;有色金属技术经济研究院;上海合晶硅材料有限公司;南京国盛电子有限公司;天津市环欧半导体材料技术有限公司
全部替代标准：GB/T 19921-2005
相近标准：20151791-T-469 硅抛光片表面颗粒测试方法; 硅抛光片表面颗粒测试方法; GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法; GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法; YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法; 20000544-T-610 硅抛光片表面质量（颗粒）检测方法; SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法; SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法; GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法; GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法