GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行

标准号：GB/T 34972-2017
中文标准名称：电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
标准状态：现行,发布于2017-11-01; 实施于2018-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-02-01
中国标准分类号：71.040.40
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：上海市计量测试技术研究院;高麦仪器公司;北京华宇同方化工科技开发有限公司;上海华爱色谱分析技术有限公司;西南化工研究设计院有限公司;广东华特气体股份有限公司;苏州金宏气体股份有限公司;中昊光明化工研究设计院有限公司
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