GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷 现行

标准号：GB/T 34091-2017
中文标准名称：电子工业用气体 六氟乙烷
英文标准名称：Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
标准状态：现行,发布于2017-07-31; 实施于2017-11-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2017-07-31
实施日期：2017-11-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：浙江省化工研究院有限公司;四川中测标物科技有限公司;西南化工研究设计院有限公司;东莞市联臣电子科技有限公司;天津长芦华信化工股份有限公司;广东华特气体股份有限公司;高麦仪器公司;上海华爱色谱分析技术有限公司;国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）;中昊光明化工研究设计院有限公司
相近标准：20132258-T-469 电子工业用气体 六氟乙烷; GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷; GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯; GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨; GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩; GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮; GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧; GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢; GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦; GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢