GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷 现行

标准号：GB/T 15909-2017
中文标准名称：电子工业用气体 硅烷
英文标准名称：Gas for electronic industry—Silane
标准状态：现行,发布于2017-05-31; 实施于2017-12-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：西南化工研究设计院有限公司;广东华特气体股份有限公司;高麦仪器公司;大连大特气体有限公司;上海计量测试研究院;江苏中能硅业科技发展有限公司;南京亚格泰新能源材料有限公司;安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司;浙江赛林硅业有限公司;中昊光明化工研究设计院有限公司;天津长芦华信化工股份有限公司;上海华爱色谱分析技术有限公司;化工气体质检中心;浙江中宁硅业有限公司;浙江大学
全部替代标准：GB/T 15909-2009
相近标准：20132257-T-469 电子工业用气体 硅烷; GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4); GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4); 20064396-T-469 电子工业用气体 硅烷(SiH4); GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯; GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨; GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩; GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮; GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧; GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢