GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 现行

标准号：GB/T 32814-2016
中文标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
标准状态：现行,发布于2016-08-29; 实施于2017-03-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：西北工业大学;中机生产力促进中心
相近标准：20110875-T-469 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范; GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范; 20090278-T-469 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范; GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范; 20110874-T-469 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范; GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范; 20090276-T-469 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范; GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范; 20110877-T-469 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范; GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则