GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法 现行

标准号：GB/T 30653-2014
中文标准名称：Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
英文标准名称：Test method for crystal quality of III-nitride epitaxial layers
标准状态：现行,发布于2014-12-31; 实施于2015-09-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类号：77.040.20
国际标准分类号：77.040.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院半导体研究所
相近标准：20110044-T-469 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法; GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法; 20110045-T-469 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法; GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法; 20110050-T-469 氮化物LED外延片内量子效率测试方法; GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备; 20130022-T-469 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备; 20184479-T-469 连续氮化物陶瓷纤维测试方法 第1部分：氮含量; 连续氮化物陶瓷纤维测试方法 第1部分 氮含量; GB/T 30075-2013 LED用稀土氮化物红色荧光粉