GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口 现行

标准号：GB/T 15872-2013
中文标准名称：半导体设备电源接口
英文标准名称：Power supply interface for semiconductor equipment
标准状态：现行,发布于2013-12-17; 实施于2014-05-15; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-05-15
中国标准分类号：31.220.10
国际标准分类号：31.220.10
归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
执行单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：中国人民解放军空军雷达学院;工业和信息化部电子工业标准化研究院
全部替代标准：GB/T 15872-1995
相近标准：GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口; 20064394-T-339 半导体设备电源接口; 20141881-T-469 半导体设备安全标识要求; SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求; 20153730-T-469 300mm半导体设备装载端口要求; 20141882-T-469 半导体设备电压暂降抗扰度要求; 300mm半导体设备装载端口要求; SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范; GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件; 20111071-Q-604 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件