GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 现行

标准号：GB/T 29505-2013
中文标准名称：硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
英文标准名称：Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer
标准状态：现行,发布于2013-05-09; 实施于2014-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司;中国有色金属工业标准计量质量研究所
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