GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼 现行

标准号：GB/T 17874-2010
中文标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文标准名称：Gases for electronic industry - Boron trichloride
标准状态：现行,发布于2011-01-14; 实施于2011-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：西南化工研究设计院;光明化工研究设计院;上海华爱色谱分析技术有限公司
全部替代标准：GB/T 17874-1999
相近标准：20081119-T-469 电子工业用气体 三氯化硼; GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼; GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢; 20111285-T-469 电子工业用气体 氯化氢; GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢; GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷; GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯; GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨; GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩; GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮