GB/T 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范 现行

标准号：GB/T 26065-2010
中文标准名称：硅单晶抛光试验片规范
英文标准名称：Specification for polished test silicon wafers
标准状态：现行,发布于2011-01-10; 实施于2011-10-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：宁波立立电子股份有限公司;杭州海纳半导体有限公司
相近标准：20081128-T-469 硅单晶抛光试验片规范; GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片; GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片; 20151794-T-469 硅单晶抛光片; 硅单晶抛光片; SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范; GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片; GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片; 20200799-T-469 碳化硅单晶抛光片; 碳化硅单晶抛光片