GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范 现行

标准号：GB/T 17865-1999
中文标准名称：焦深与*佳聚焦的测量规范
英文标准名称：Specification for measuring depth of focus and best focus
标准状态：现行,发布于1999-09-13; 实施于2000-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院微电子中心
采标情况：本标准等同采用其他国际标准：SEMI P25:1994。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 6998-2002 预聚焦式灯头的量规; SL/T 58-2014 水文测量规范; CH 5001-1991 房产测量规范; 20201883-Q-307 海道测量规范; 海道测量规范; GB 12327-1998 海道测量规范; GB/T 17986.1-2000 房产测量规范 第1单元:房产测量规定; EJ/T 830-1994 铀矿普查测量规范; EJ/T 980-2018 车载γ能谱测量规范; DZ 0003-1991 汞蒸气测量规范