GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范 被代替

标准号：GB/T 16596-1996
中文标准名称：确定晶片坐标系规范
英文标准名称：Specification for establishing a wafer coordinatesystem
标准状态：被代替,发布于1996-11-04; 实施于1997-04-01; 被代替于2020-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国有色金属工业总公司
被以下标准代替：被GB/T16596-2019GB/T16596-2019全部代替
采标情况：本标准等效采用其他国际标准：SEMI M20:1992。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范; 20162491-T-469 确定晶片坐标系规范; 确定晶片坐标系规范; GB/T 28584-2012 城市坐标系统建设规范; 20051760-T-466 城市坐标系统建设规范; GB/T 30112-2013 月球空间坐标系; 20201549-T-801 空间站坐标系; 空间站坐标系; 20100982-T-491 月球空间坐标系; GB/T 32296-2015 航天飞行器常用坐标系