GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 现行

标准号：GB/T 15871-1995
中文标准名称：硬面光掩模基板
英文标准名称：Hard surface photomask substrates
标准状态：现行,发布于1995-12-22; 实施于1996-08-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
中国标准分类号：31.030
国际标准分类号：31.030
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：长沙韶光微电子总公司
采标情况：本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜; GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板; 20141709-T-609 光掩模石英玻璃基板; 20154011-T-469 专用衰减式移相掩模版及掩模基板特性规范; 专用衰减式移相掩模版及掩模基板特性规范; GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范; 20120286-T-469 平板显示器掩模基板规范; GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范; JB/T 9320-1999 平面光栅摄谱仪; GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则