GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件 被代替

标准号：GB/T 15862-1995
中文标准名称：离子注入机通用技术条件
英文标准名称：Generic specification for ion implantation equipment
标准状态：被代替,发布于1995-12-22; 实施于1996-08-01; 被代替于2013-02-15; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：电子工业部第四十八研究所
被以下标准代替：被GB/T15862-2012GB/T15862-2012全部代替
相近标准：GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范; 20065767-T-339 离子注入机通用规范; YS/T 1371-2020 离子注入机用钨材; EJ/T 647-1994 金属用工业离子注入机; SY/T 5757-2010 油田注入水杀菌剂通用技术条件; SY/T 5757-1995 油田注入水杀菌剂通用技术条件; GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法; 20065624-T-469 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法; GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法; GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件