GB/T 9506.5-1988 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法 被代替
百检网 2021-05-26
标准号:GB/T 9506.5-1988
中文标准名称:掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法
英文标准名称:Test method for nitrogen-released and gas-absorbed dynamic curve of nitrogen-doped getter
标准状态:被代替,发布于1988-06-25; 实施于1988-12-01; 被代替于2011-05-01; 废止
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
发布日期:1988-06-25
实施日期:1988-12-01
中国标准分类号:31-030
国际标准分类号:31-030
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:上海电子管二厂
被以下标准代替:被GB/T25497-2010GB/T25497-2010全部代替
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