标准号：GB/T 26307-2010
中文标准名称：银靶
英文标准名称：Silver target
标准类型：H68
发布日期：2011/1/14 12:00:00
实施日期：2011/11/1 12:00:00
中国标准分类号：H68
国际标准分类号：77.120.99
引用标准：GB/T 4135;GB/T 6394;GB/T 11067;GB/T 15077
适用范围：本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
GB/T 26307-2010 银靶
百检网 2021-07-13
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