KS D ISO 14237-2003 表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定

百检网 2021-07-14

标准号：KS D ISO 14237-2003
中文标准名称：表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定
英文标准名称：Surface chemical analysis－Secondary-ion mass spectrometry－Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准类型：G04
发布日期：2003/10/6 12:00:00
实施日期：2003/10/6 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
适用范围：이 규격은 붕소가 이온 주입된 인증 표준 물질에 의해 교정된 붕소가 균일하게 첨가된 이

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