标准号：KS D 0258-2012
中文标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
英文标准名称：Test methods of crystalline defects in silicon by preferential etch techniques
标准类型：H81
发布日期：2012/5/17 12:00:00
实施日期：2012/5/17 12:00:00
中国标准分类号：H81
国际标准分类号：77.120.99
适用范围：이 표준은 실리콘 웨이퍼의 결정 결함을 육가 크로뮴을 포함하지 않은 선택 에칭액에 의해 검
KS D 0258-2012 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
百检网 2021-07-14
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