标准号：GB/T 16527-1996
中文标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
英文标准名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
标准状态：现行
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
中国标准分类号：L90
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 现行
百检网 2021-07-16
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