GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语 现行

百检网 2021-07-16
标准号:GB/T 38616-2020
中文标准名称:纳米定位与扫描平台术语
英文标准名称:Terminology for nano positioning and scaning stage
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2020/4/28 12:00:00
实施日期:2020/11/1 12:00:00
中国标准分类号:三英精控(天津)仪器设备有限公司
国际标准分类号:01.040.39
归口单位:全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门:工业和信息化部(电子)
起草单位:沈阳建筑大学
起草人:戴敬
相近标准:  纳米定位与扫描平台术语;20162484-T-339  纳米定位与扫描平台术语;  基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定

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