GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法

百检网 2021-07-16

标准号：GB/T 14146-2021
中文标准名称：硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法
英文标准名称：Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
标准类型：国家标准
发布日期：2021/5/21 12:00:00
实施日期：2021/12/1 12:00:00
中国标准分类号：有色金属技术经济研究院有限责任公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司
起草人：潘文宾
相近标准：;GB/T 14146-2009 ; 硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法;201

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