GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫

标准号：GB/T 18867-2014
中文标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
英文标准名称：Gases for electronic industry.Sulphur hexaflouride
标准类型：G86
发布日期：2014/12/22 12:00:00
实施日期：2015/7/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB/T 5832.1;GB/T 5832.3;GB 7144;GB/T 8170;GB/T 12022;GB 14193;GB 15258;GB 16804;GB/T 26571;GB/T 28726-2012;气瓶安全监察规程(2000版);危险化学品安全管理条例(2002版)
适用范围：本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式:SF