GB/T 14602-2014 电子工业用气体氯化氢

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 14602-2014
中文标准名称：电子工业用气体氯化氢
英文标准名称：Gases for electronic industry.Hydrogen chloride
标准类型：G86
发布日期：2014/12/22 12:00:00
实施日期：2015/7/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
适用范围：本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl。相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。

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