GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 20307-2006
中文标准名称：纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
英文标准名称：General rules for nanometer-scale length measurement by SEM
标准类型：N33
发布日期：2006/7/19 12:00:00
实施日期：2007/2/1 12:00:00
中国标准分类号：N33
国际标准分类号：37.020.17.040
引用标准：JJF 1059-1999
适用范围：本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm～500nm的点或线的间距。

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