GB/T 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 14603-2009
中文标准名称：电子工业用气体.三氟化硼
英文标准名称：Gases for electronic industry.Boron trifluoride
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB 7144-1999;GB 11640-1989;GB 14194-2006;气瓶安全监察规程;危险货物运输规则
适用范围：本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全要求。本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

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