GB/T 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范

标准号：GB/T 26065-2010
中文标准名称：硅单晶抛光试验片规范
英文标准名称：Specification for polished test silicon wafers
标准类型：H80
发布日期：2011/1/10 12:00:00
实施日期：2011/10/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：GB/T 1550;GB/T 1554;GB/T 1555;GB/T 1557;GB/T 2828.1;GB/T 4058;GB/T 6616;GB/T 6618;GB/T 6619;GB/T 6620;GB/T 6621;GB/T 6624;GB/T 11073;GB/T 12964;GB/T 13387;GB/T 13388;GB/T 14140;GB/T 14264;YS/T 26;SEMI 24;ASTM F1526
适用范围：1.本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。2.本标准涵盖尺寸规格、结晶取向及表面缺陷等特性要求。本标准涉及了50.8mm～300mm所有标准直径的硅抛光试验片技术要求。3.对于更高要求的硅单晶抛光片规格，如：颗粒测试硅片、光刻分辨率试验用硅片以及金属离子监控片等，参见SEMI24《硅单晶优质抛光片规范》。