标准号：GB/T 32188-2015
中文标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文标准名称：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2015/12/10 12:00:00
实施日期：2016/11/1 12:00:00
中国标准分类号：苏州纳维科技有限公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
起草人：任国强
相近标准：20120268-T-469 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法; 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法;20
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 现行
百检网 2021-07-19
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