GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范现行

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 32814-2016
中文标准名称：硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2016/8/29 12:00:00
实施日期：2017/3/1 12:00:00
中国标准分类号：中机生产力促进中心
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：西北工业大学
起草人：苑伟政
相近标准：20110875-T-469 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范;GB/T 28276-2012 硅基

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