GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 现行

标准号：GB/T 26068-2018
中文标准名称：硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
英文标准名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2018/12/28 12:00:00
实施日期：2019/11/1 12:00:00
中国标准分类号：瑟米莱伯贸易（上海）有限公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司
起草人：曹孜
相近标准： ;GB/T 26068-2010 ;20151792-T-469  硅片和硅锭载流子复合