GB/T 14264-2009 半导体材料术语

百检网 2021-07-29

标准号：GB/T 14264-2009
中文标准名称：半导体材料术语
英文标准名称：Semiconductor materials-Terms and definitions
标准类型：H80
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：ASTM F1241;SEMI M59
适用范围：本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素和化合物半导体材料。

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