GB/T 26112-2010 微机电系统（MEMS）技术微机械量评定总则

百检网 2021-07-29

标准号：GB/T 26112-2010
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术微机械量评定总则
英文标准名称：Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
标准类型：L55
发布日期：2011/1/10 12:00:00
实施日期：2011/10/1 12:00:00
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
引用标准：GB/T 26111
适用范围：本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

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