20202591-T-469 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微术)式仪器的标称特性 正在征求意见

百检网 2021-08-05
标准号:20202591-T-469
中文标准名称:产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微术)式仪器的标称特性
英文标准名称:Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
标准状态:正在征求意见
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号:17.040.20
归口单位:全国产品几何技术规范标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:清华大学
相近标准:  产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微术)式仪器的标称特性;  产品几何技术规范(
标准制修订:制订

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