GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片现行

百检网 2021-08-05

标准号：GB/T 12964-2018
中文标准名称：硅单晶抛光片
英文标准名称：Monocrystalline silicon polished wafers
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2018/9/17 12:00:00
实施日期：2019/6/1 12:00:00
中国标准分类号：上海合晶硅材料有限公司
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司
起草人：卢立延
相近标准： ;GB/T 12964-2003 ;GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片;20

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