GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法 现行

百检网 2021-08-05
标准号:GB/T 36705-2018
中文标准名称:氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
英文标准名称:Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2018/9/17 12:00:00
实施日期:2019/6/1 12:00:00
中国标准分类号:苏州纳维科技有限公司
国际标准分类号:77.040
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
起草人:郑树楠
相近标准:  氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法;20151534-T-469  氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法;2011

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