GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行

标准号：GB/T 34972-2017
中文标准名称：电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2017/11/1 12:00:00
实施日期：2018/2/1 12:00:00
中国标准分类号：西南化工研究设计院有限公司
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：上海市计量测试技术研究院
起草人：杜汉盛
相近标准：20132260-T-469  电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法;SJ/T 11555-2015  用电感