标准号：20131700-T-469
中文标准名称：表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
英文标准名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：清华大学分析中心
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京师范大学分析测试中心
相近标准：GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率;GB/T 29557-2013
标准制修订：制订
20131700-T-469 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率 已发布
百检网 2021-08-06
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