20173543-T-469 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法 已发布

标准号：20173543-T-469
中文标准名称：硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
英文标准名称：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：上海合晶硅材料有限公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司
起草人：王永涛
相近标准：  硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法;GB/T 38976-2020  硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法;2
标准制修订：制订