光谱椭偏仪

百检网 2021-11-11

可用于一下研究工作：各种信息功能材料和器件的光学常数测量和光谱学特征分析；薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析；信息功能材料的组成测量及分析；半导体材料的实时、在线工艺质量检测，评估和分析；物理化学的吸收；激光、粒子束与材料相互作用引起的损伤；生物及医学涉及到的表面特性等。

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