主要规格及技术指标
1.1 193nm空气冷却气态准分子激光源,激光源寿命不少于5亿次; 1.2 脉冲宽度: 20ns; 1.3 脉冲稳定性:<2%; 1.4 能量密度:1-45 J/cm2; 1.5 剥蚀频率:1-20Hz;
主要功能及特色
1.剥蚀模式:四种激光剥蚀模式可以任意切换,Single Shot, Burst, Continuous, fixed dosage四种模式; 2.剥蚀斑点尺寸:2-175um 3.光斑:不少于30个剥蚀光斑可选,其中包括不少于20个圆形光斑,6个方形光斑和4个狭缝光斑。通过软件选择不同斑点,并且能够在剥蚀过程中进行不同斑点更换。