主要规格及技术指标
1.总体要求：设备在满足分辨率的前提下，成像快速，放置环境要求低，可随意搬动，维护周期长 2.仪器形态：小型、桌面，可移动，要求具有防震设计，可摆放于普通实验室桌面使用，要求仪器主机体积不超过 300mm*600mm*500mm（W*D*H），重量不超过 75kg，安装占地面积不超过 1.5m*1m； 3.无需建立专用的抗震实验室或独立的抗震台来摆放，可不用减震装置就能放置在二楼以上楼层 4.光学放大倍率：嵌入式独立彩色光学显微镜，20-135 倍 5.电子放大： 80-130,000 倍（非数字放大） 6.电子光学分辨率：优于 10nm 7.观察状态下可以实时测量功能 8.电子光学照明：CeB6 晶体灯丝，非钨灯丝 9.单根灯丝寿命：≥1500 小时 10.电子枪加速电压：5kV-15kV 连续可调，调节步进 0.1kv 11.电子光学探测器类型：高灵敏四分割背散射电子探测器，可同时显示成分和形貌信息； 12.X射线能谱探测器类型：硅漂移（SＤＤ）探测器类型，可实现微区定向分析，即点击感兴趣的部位，即可完成该点的元素定量定性分析 13.能谱探测器冷却方式：无液氮消耗，采用半导体 Peltier 效应制冷 14.能谱探头要求超薄 Si3N4 窗口，有效晶体面积 25mm2 15.元素探测范围：B（5）-Am（95） 16.能谱探测器能量分辨率：<137eV（Mn Kα) 17.完全集成在内部的能谱分析仪，不需要单独安装，并且由同一厂家进行技术服务； 18.电镜载样抽真空时间：小于 30 秒 19.样品台移动方式：软件控制的马达驱动，通过鼠标点击目标区域后，样品台自动移动至目标区域画面居中，可实现电镜图像即点即得功能 20.具有样品拍摄位置返回功能（返回指定照片位置） 21.软件平台：不易受病毒影响的 linux 系统，支持 U 盘及网络存储图像 22.网络远程检测功能：可通过互联网远程控制及监测仪器 23.图像观测导航界面：彩色光学导航和电子图像局部导航同时显示
主要功能及特色
Phenom扫描电子显微镜主要用于对材料微观形貌的观察与测量。该款电镜型号ProX，具有*大13.5万倍的放大倍数以及优于10nm的分辨率。同时，Phenom扫描电子显微镜集成了EDS探头，具有元素分析的功能。Phenom扫描电子显微镜允许客户在观察材料的微观形貌的同时，通过点扫、线扫和面扫的方式获取材料某个位置或者某个区域的元素含量和元素分布。 主要用途：进行纳米材料的微观组织和形貌观测。快速、方便的对材料的微观尺寸、形状及表面形态等特性进行表征，获得样品重要的表面信息，是开发新型材料不可或缺的工具。 功能：1. 台式扫描电镜主用于表征粉末，高分子材料、金属材料、无机非金属材料、生命科学领域材料的微观形貌，是实验室必备设备之一，可用于科研及社会服务中。 2. 用于定性半定量分析材料表面的元素成分。
