详细信息
主要技术指标：
电子束分辨率0.9nm，电子束压1kV——30kV，电子束流1.3pA——22nA；离子束分辨率5nm，离子加速高压30kV，离子束流1.5pA——21nA。
主要功能：
1、高分辨成像；2、聚焦离子束对材料表面剥离加工；3、聚焦离子束与化学气体配合直接将原子沉积到衬底材料表面；4、以不同的液态金属为源材料直接将原子沉积到衬底材料表面。
服务信息
服务内容：
1. 离子束加工；2. 材料沉积（电子束沉积，离子束沉积）；3. 原位电性能测试；4. SEM。
收费标准：
4000元/样品
用户须知：
样品无磁性，无油污，无放射性；样品高度小于5毫米，长宽*适宜的尺寸为10*10毫米。
