双束场发射扫描电子显微镜系统

百检网 2021-11-11

FIB/SEM双束系统是样品成像、改性、加工和实效分析的有效工具，可提供三维高分辨率的电子束成像，还可利用离子束在电子束的协调下进行材料的衬度成像和二次离子质谱成像。可用于材料、化工、微电子等相关研究领域。

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