半导体特性分析系统

百检网 2021-11-11

在开展新原理、新材料特种微纳传感器件的研制工作中，材料或者器件的电学特性测试对于器件性能起着决定性的影响。因此，建立微纳机电材料或者器件性能电学测试，完成复杂、高速器件的精密测量的质量及可靠性技术是十分重要且必要的。而本次采购的半导体特性分析系统集成前沿的脉冲能力和精密DC测量，对微纳机电系统领域中的材料或者器件进行非破坏性电学特性测试，包括参数测量、DC测量和CV测量等，旨在确保复杂、高速器件的精密测量的质量及可靠性，缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

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